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    電子特氣是電子工業中有著什么樣的作用

    電子特氣是電子工業中有著什么樣的作用

    分類:
    氣體知識
    發布時間:
    2021/01/12 17:42
    電子特氣是電子工業的關鍵原料,屬于工業氣體的重要分支。工業氣體是現代工業的基礎原材料,而電子特氣是工業氣體中附加值較高的品種,與傳統工業氣體的區別在于純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途,是極大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產中不可或缺的基礎和支撐性材料之一,相關下游領域的快速發展將帶動未來特種氣體的增量需求。
     
    半導體特氣應用于晶圓制造的各個環節。狹義的“電子氣體”特指電子半導體行業用的特種氣體,主要應用于前端晶圓制造中的化學氣相沉積、光刻、刻蝕、摻雜等諸多環節。電子特種氣體的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性,對于半導體集成電路芯片的質量和性能具有重要意義。
    電子特氣
    電子特氣
    半導體電子特氣行業具有較高的技術壁壘。半導體電子特種氣體在生產過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術,每一步均有嚴格的技術參數要求和質量控制措施。為了保證半導體器件的質量與成品率,特種氣體產品要同時滿足超純和超凈的要求,超純氣體純度要求達到4.5N、5N甚至6N、7N(N是Nine的簡寫,幾個N就代表有幾個9,例如3N的純度為99.9%。
     
    對于混合氣而言,配比的精度是核心參數,隨著產品組分的增加、配制精度的上升,客戶常要求氣體供應商能夠對多種濃度的氣體組分進行精細操作,其配制過程的難度與復雜程度也顯著增大。此外,氣瓶處理、氣體分析檢測、氣體配送等環節亦對生產企業提出了較高的技術要求。
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